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四川光刻機之單面光刻機的主要構成和特點

作者:admin 發布日期:2017-6-20 關注次數: 二維碼分享

單面光刻機也屬于四川光刻機的一種,下面小編為大家介紹一下單面光刻機的主要構成和特點是什么?

四川光刻機

1、適用于4″、3″、2″基片,基片厚度≤1.5mm 。

2、具有相對應的版夾盤,□5″×5″、□4″×4″、□2.5″×2.5″。

3、調密著真空度,能實現硬接觸、軟接觸和微力接觸曝光。

4、采用鷹眼曝光頭,光的不均勻性≤±3%,曝光時間0~9999.9秒可調。

5、具有預定位靠尺:利用基片切邊進行定位,定位精度≤1微米 。

6、具有雙工作承片臺,利用曝光時間,進行卸片、上片工作。

主要用途

主要用于中小規模集成電路、半導體元器件、聲表面波器件的研制和生產。

由于本機找平機構先進,找平力小、使本機不僅適合硅片、玻璃片、陶瓷片、寶石片的曝光,而且也適合易碎片如砷化鉀、磷化銦等基片的曝光以及非圓形基片和小型基片的曝光。

主要構成

主要由高精度對準工作臺、雙目分離視場顯微鏡(或CCD顯微顯示系統)、多點光源(蠅眼)曝光頭、PLC電控系統、氣動系統、真空管路系統、直聯式真空泵、二級防震工作臺和附件箱等組成。

成都光刻機

希望以上關于四川光刻機的介紹對你有所幫助,更多信息請持續關注鑫南光官網信息更新。

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