歡迎訪問成都鑫南光機械設備有限公司官方網站!

成都鑫南光機械設備有限公司

二十年專業品質 通過ISO9001質量體系認證

立即咨詢

24小時咨詢熱線:
13908187709

四川光刻機之單面光刻機的主要構成和特點

作者:admin 發布日期:2017-6-20 關注次數: 二維碼分享

單面光刻機也屬于四川光刻機的一種,下面小編為大家介紹一下單面光刻機的主要構成和特點是什么?

四川光刻機

1、適用于4″、3″、2″基片,基片厚度≤1.5mm 。

2、具有相對應的版夾盤,□5″×5″、□4″×4″、□2.5″×2.5″。

3、調密著真空度,能實現硬接觸、軟接觸和微力接觸曝光。

4、采用鷹眼曝光頭,光的不均勻性≤±3%,曝光時間0~9999.9秒可調。

5、具有預定位靠尺:利用基片切邊進行定位,定位精度≤1微米 。

6、具有雙工作承片臺,利用曝光時間,進行卸片、上片工作。

主要用途

主要用于中小規模集成電路、半導體元器件、聲表面波器件的研制和生產。

由于本機找平機構先進,找平力小、使本機不僅適合硅片、玻璃片、陶瓷片、寶石片的曝光,而且也適合易碎片如砷化鉀、磷化銦等基片的曝光以及非圓形基片和小型基片的曝光。

主要構成

主要由高精度對準工作臺、雙目分離視場顯微鏡(或CCD顯微顯示系統)、多點光源(蠅眼)曝光頭、PLC電控系統、氣動系統、真空管路系統、直聯式真空泵、二級防震工作臺和附件箱等組成。

成都光刻機

希望以上關于四川光刻機的介紹對你有所幫助,更多信息請持續關注鑫南光官網信息更新。

案例展示

CASE SHOW

快速通道 Express Lane

咨詢熱線

1390818770913908187709

郵箱:[email protected]

QQ:15390063681

鑫南光咨詢服務熱線:
13908187709

立即在線咨詢預約

掃一掃有驚喜哦

二維碼
地址:成都市蛟龍工業港雙流園區渤海路36號(3座)
版權所有:

成都鑫南光機械設備有限公司

備案號: 蜀ICP備12015633號-3

網站地圖 RSS XML  四川|成都|德陽|綿陽|
聯系人:劉經理 電話:028-85730519      技術支持:動力無限 萬家燈火
  全國服務熱線:13908187709  郵箱:[email protected]
成都鑫南光機械設備有限公司主要從事四川光刻機 四川氫氣爐 四川真空泵 的產品,歡迎前來咨詢!
在線咨詢
在線留言
客服電話
掃一掃
成都鑫南光機械設備有限公司

掃一掃
進入手機網站

全國服務熱線
13908187709

返回頂部
上海快三走势图形态走势定牛