歡迎訪問成都鑫南光機械設備有限公司官方網站!

成都鑫南光機械設備有限公司

二十年專業品質 通過ISO9001質量體系認證

立即咨詢

24小時咨詢熱線:
13908187709

四川光刻機的內部組件有哪些?

作者:admin 發布日期:2018-7-29 關注次數: 二維碼分享

四川光刻機是由哪些部分構成的?今天鑫南光為您揭開這個謎底!

激光器:光源,光刻機核心設備之一。

光束矯正器:矯正光束入射方向,讓激光束盡量平行。

光束形狀設置:設置光束為圓型、環型等不同形狀,不同的光束狀態有不同的光學特性。

遮光器:在不需要曝光的時候,阻止光束照射到硅片。

能量控制器:控制最終照射到硅片上的能量,曝光不足或過足都會嚴重影響成像質量。

能量探測器:檢測光束最終入射能量是否符合曝光要求,并反饋給能量控制器進行調整。

四川光刻機

掩膜臺:承載掩模版運動的設備,運動控制精度達到納米級。

掩模版:一塊在內部刻著線路設計圖的玻璃板,貴的要數十萬美元。

物鏡:物鏡由 20 多塊鏡片組成,主要作用是把掩膜版上的電路圖按比例縮小,再被激光映射的硅片上,并且物鏡還要補償各種光學誤差。技術難度就在于物鏡的設計難度大,精度的要求高。

量臺、曝光臺: 承載硅片的工作臺, 一般的光刻機需要先測量,再曝光,只需一個工作臺,ASML 的雙工作臺光刻機則可以實現一片硅片曝光同時另一片硅片進行測量和對準工作,能有效提升工作效率。

內部封閉框架、減振器:將工作臺與外部環境隔離,保持水平,減少外界振動干擾,并維持穩定的溫度、壓力。

四川光刻機仍在不斷的進步發展,滿足更高性能、更低成本芯片的生產需求。

四川氫氣爐

案例展示

CASE SHOW

快速通道 Express Lane

咨詢熱線

1390818770913908187709

郵箱:[email protected]

QQ:15390063681

鑫南光咨詢服務熱線:
13908187709

立即在線咨詢預約

掃一掃有驚喜哦

二維碼
地址:成都市蛟龍工業港雙流園區渤海路36號(3座)
版權所有:

成都鑫南光機械設備有限公司

備案號: 蜀ICP備12015633號-3

網站地圖 RSS XML  四川|成都|德陽|綿陽|
聯系人:劉經理 電話:028-85730519      技術支持:動力無限 萬家燈火
  全國服務熱線:13908187709  郵箱:[email protected]
成都鑫南光機械設備有限公司主要從事四川光刻機 四川氫氣爐 四川真空泵 的產品,歡迎前來咨詢!
在線咨詢
在線留言
客服電話
掃一掃
成都鑫南光機械設備有限公司

掃一掃
進入手機網站

全國服務熱線
13908187709

返回頂部
上海快三走势图形态走势定牛 场外配资重来 k线猎手配资 十大炒股软件排行榜 线上期货配资违法吗 银鸽投资股票行情 股票分析师能炒股吗 黑马股票推荐群 微配资 联环药业股票 长荣慧国际 股票配资平台哪个好推荐九梦财富 排名前十的股票配资平台 民生易贷理财平台 云跟投配资 杠杆炒股 按月配资