歡迎訪問成都鑫南光機械設備有限公司官方網站!

成都鑫南光機械設備有限公司

二十年專業品質 通過ISO9001質量體系認證

立即咨詢

24小時咨詢熱線:
13908187709
查看大圖 加入收藏夾 我要評價 告訴朋友
G-31B4型高精密雙面光刻機

簡介—— 一、主要用途主要用于中小規模集成電路、半導體元器件、光電子器件、聲表面波器件、薄膜電路、電力電子器件的研制和生產。二、主

聯系電話:1390818770913908187709

詳情內容/ Content details

手機掃一掃

一、主要用途

主要用于中小規模集成電路、半導體元器件、光電子器件、聲表面波器件、薄膜電路、電力電子器件的研制和生產。

二、主要性能指標:

曝光類型:版版對準雙面曝光

曝光面積:≥φ100mm

曝光不均勻性:≤±3%

曝光強度:≥5mw/cm2

曝光分辨率:2μm

曝光模式:雙面同時曝光

對準精度:±0.5μm

對準范圍:X:±5mm Y:±5mm

套刻精度:1μm

旋轉范圍:Q向旋轉調節≤±5°

顯微系統:雙視場CCD系統,物鏡1.6X~10X,計算機圖像處理系統,19″液晶監視器;

掩模版尺寸:能真空吸附4"方形掩板,對版的厚度無特殊要求(1~3mm皆可)。

基片尺寸:適用于Φ3"mm圓形基片(或3"×3"mm方形基片),基片厚度≤5mm,當您的基片厚度≤1mm時,我公司為本機配置標準承片臺(不另計費),當基片厚度>1mm時,設備需配置專用承片臺(訂貨時用戶須說明,費用另議)。

1、有三種版夾盤供選擇,能真空吸附5"×5"或4"×4",3"×3"方形掩膜版,版的厚度無特殊要求1.5-3mm皆可。分別用于4"或3"(或2")基片的曝光。基片厚度0.1-3mm都可以。(訂貨時,用戶應說明訂那一種?)

2、曝光:

(1)光源采用GCQ350型超高壓球形汞燈。

(2)照明范圍:≤φ117mm

(3)光的不均勻性:φ100mm范圍內:±5%

(4)可使用的波長:G線、H線、I線的組合。(即3500-5000埃)

(5)成像面照明:使用UV-A型表測量,光照度≤5毫瓦/厘米2左右(采用

365°測頭測量),光學結構原理為16面反射式多點光源。

3、采用進口(SMC)時間繼電器(該繼電器可從0.1秒-999.9秒內任意設定)控制“真空快門”,動作準確可靠。

4、該機為雙面接觸式曝光機,該機特制的翻版機構,能消除基片楔形誤差,保證上下二塊掩膜版對基片上下兩面良好的接觸,從而保證基片上下兩面的曝光質量。

5、分辨率估量:如果用戶的“版”、“片”精度符合國家規定、環境、溫度、濕度以及房間凈化得到嚴格控制,采用進口“正性”光刻膠,且勻膠厚度和均勻度也得到嚴格控制的話,本機曝光最小分辨可達0.002mm,建議使用在≥0.003mm以上。

6、對準:

A、 兩個單視場變倍顯微鏡加二個CCD攝像機加19"監視器。

1)二個單視場變倍顯微鏡的變倍范圍1.6X-10X.

2)二個CCD攝像頭:平面對角線尺為1/3"。

3)采用19"液晶監視器,其數字放大倍率為19÷1/3=57倍;

觀察系統放大倍數為:1.6×57≈91倍(最小倍數),10×57≈570倍(最大倍數)。

B、對準臺

首先真空吸附下掩版(注意掩版四個邊,平行于真空吸附下掩版的裝置四個邊),然后將上掩版放在下掩版上,轉動曝光頭位置,使兩個單視場顯微鏡對準上掩版,調好左右兩個顯微鏡的焦距,從監視屏上看清兩個圖像,調整下掩版X、Y和Q轉動,使上掩版上的圖像或標記線顯視到監視器屏的左右分開的中間位置,然后真空吸附上掩版。上掩版一旦吸附后,再也不能移動。通過下掩版進行X、Y和Q移動后,實現上下掩版的對準工作。

上下掩版的對準精度≤±0.001mm。

該機的主要優點是,有一個上掩版相對于下掩版的翻轉機構,該機構翻轉角度≥90o,甚至可達180o,不僅便于上下基片,而且能保證上下掩版對應基片上下面的良好接觸(能補償基片的楔形誤差),又能保證上下掩版對準了的圖形重合到原來位置,其誤差≤5μm。

這一點很重要,也就是說上下掩版對準后,不管怎么翻動,怎樣上下基片,上下掩版的圖形仍然是對準的!這對大批量生產的廠家來說很重要,只要上下掩版對準后,你就可以不斷地對基片進行雙面曝光,曝光若干片以后,你如果想觀察上下掩版是否仍然對準的,你只要轉動曝光頭,使顯微鏡對準版,你就能在監視器上看見,兩個版的對準情況。

X、Y調整范圍±4mm

Q轉角≤±5o

7、設備所需能源:

主機電源220V   50HZ   功耗≤1.5KW

配有一臺真空泵,真空泵電源220V

8、尺寸和重量:

尺寸:1200(長)×720(寬)×1500(高)

重量≤170kg

機體放在專用工作臺上

9、雙面對準曝光機的組成

A、 主機

1)主機(含機體和工作臺)

2)機體上安裝二臺單視場可變倍數顯微鏡,二臺CCD攝像頭,一臺19"監視器,一套很有特色的上下翻版裝置,二個16面反射鏡式高均勻性曝光頭。

B、 附件:

a. 主機附件:(出廠時安裝到機器上)

(1)  5"□型掩版夾盤。

b. 顯微鏡組成

(1) 單筒顯微鏡二個

(2) 兩個CCD

(3) 視頻連接線。

(4) 計算機和19"液晶監視器。




【返回列表】

【推薦閱讀】↓

【本文標簽】:

在線留言

message
掃一掃更精彩掃一掃更精彩
  • 聯系人:劉經理
  • 聯系電話:13908187709
  • 座機:028-85730589
  • 400電話:13908187709
  • 郵箱:[email protected]
  • 地址:成都市蛟龍工業港雙流園區渤海路36號(3座)
在線客服

如果您對此產品感興趣! 請直接聯系成都鑫南光機械設備有限公司!

相關推薦

HOT RECOMMEND

快速通道 Express Lane

咨詢熱線

1390818770913908187709

郵箱:[email protected]

QQ:15390063681

鑫南光咨詢服務熱線:
13908187709

立即在線咨詢預約

掃一掃有驚喜哦

二維碼
地址:成都市蛟龍工業港雙流園區渤海路36號(3座)
版權所有:

成都鑫南光機械設備有限公司

備案號: 蜀ICP備12015633號-3

網站地圖 RSS XML  四川|成都|德陽|綿陽|
聯系人:劉經理 電話:028-85730589      技術支持:動力無限 萬家燈火
  全國服務熱線:13908187709  郵箱:[email protected]
成都鑫南光機械設備有限公司主要從事四川光刻機 四川氫氣爐 四川真空泵 的產品,歡迎前來咨詢!
在線咨詢
在線留言
客服電話
掃一掃
成都鑫南光機械設備有限公司

掃一掃
進入手機網站

全國服務熱線
13908187709

返回頂部
上海快三走势图形态走势定牛