歡迎訪問成都鑫南光機械設備有限公司官方網站!

成都鑫南光機械設備有限公司

二十年專業品質 通過ISO9001質量體系認證

立即咨詢

24小時咨詢熱線:
13908187709
查看大圖 加入收藏夾 我要評價 告訴朋友
G-34型高精密雙面光刻機

簡介—— 1、 主要用途:(1) 這是一臺雙面對準單面曝光的光刻機;(2) 這臺機器又能完成普通光刻機的任何工作;(3) 同時又是

聯系電話:1390818770913908187709

詳情內容/ Content details

手機掃一掃


1、 主要用途:

(1) 這是一臺雙面對準單面曝光的光刻機;

(2) 這臺機器又能完成普通光刻機的任何工作;

(3) 同時又是一臺檢查雙面對準精度的檢查儀。

2、 主要性能指標:

(1) 高均勻性曝光頭。

a、 采用350W直流球形汞燈;

b、 出射光斑≤φ150mm;

c、 光強≥5mw/cm2(i線365nm; h線405nm; g線453nm的組合紫外光);

d、 光的不均勻性:在φ100mm范圍內≤±3%;

e、 曝光時間采用0~999.9秒(日本OMRON生產)時間繼電器控制。

f、 對準精度:±0.5μm

g、 曝光分辨率:1μm

(2) 觀察系統為上下各兩個無級變倍、高分辨率單筒顯微鏡上裝四個CCD攝像頭通過視屏線連接計算機到19″高清液晶顯視屏上。

a、 單筒顯微鏡為1.6X~10X連續變倍顯微鏡;

b、 CCD攝像機靶面對角線尺寸為:1/3″;

c、 采用19″液晶監視器,其數字放大倍率為19÷1/3=57倍;

d、 觀察系統放大倍數為:1.6×57=91倍(最小倍數)

10×57=570倍(最大倍數);

(3)計算機硬軟件系統:

a、鼠標單擊“開始對準”,能將監視屏上的圖形記憶下來,并處理成透明的,以便對新進入的圖形進行對準;

b、鼠標雙擊左面或右面圖形,就分別全屏顯示左或右面圖形。

(4)非常特殊的板架裝置:

a、該裝置裝入 125×125板架,對版進行真空吸附;

b、該裝置安裝在機座上,能圍繞A點作翻轉運動,相對于承片臺而言作上下翻轉運動,以便于上下版和上下片;

c、該裝置來回反復翻轉,回到承片臺上平面的位置,重復精度為≤±1.5μ;

d、該裝置具有補償基片楔形誤差之功能,保證版下平面與片上平面之良好接觸,以便提高曝光質量。

(5)承片臺調整裝置:

a、 配備有Φ100承片臺一個,這種承片臺有二個長方孔,下面二個CCD通過該孔能觀察到版或片的下平面;

b、 承片臺能作X、Y、Z、θ運動,X、Y、Z可作±5mm運動,θ運動為±5°;

c、 承片臺密著環相對于版,能實現接觸式曝光;

d、 掩模版尺寸:3″×3″、 5″×5″、 7″×7″;

e、 承片臺尺寸:Φ2″、Φ4″、Φ6″;

f、 基片厚度:≤5 mm;當您的基片厚度≤1mm時,我公司為本機配置標準承片臺(不另計費),當基片厚度>1mm時,設備需配置專用承片臺(訂貨時用戶須說明,費用另議)。

g、 基片厚度:≤5 mm;當您的基片厚度≤1mm時,我公司為本機配置標準承片臺(不另計費),當基片厚度>1mm時,設備需配置專用承片臺(訂貨時用戶須說明,費用另議)



【返回列表】

【推薦閱讀】↓

【本文標簽】:

在線留言

message
掃一掃更精彩掃一掃更精彩
  • 聯系人:劉經理
  • 聯系電話:13908187709
  • 座機:028-85730589
  • 400電話:13908187709
  • 郵箱:[email protected]
  • 地址:成都市蛟龍工業港雙流園區渤海路36號(3座)
在線客服

如果您對此產品感興趣! 請直接聯系成都鑫南光機械設備有限公司!

相關推薦

HOT RECOMMEND

快速通道 Express Lane

咨詢熱線

1390818770913908187709

郵箱:[email protected]

QQ:15390063681

鑫南光咨詢服務熱線:
13908187709

立即在線咨詢預約

掃一掃有驚喜哦

二維碼
地址:成都市蛟龍工業港雙流園區渤海路36號(3座)
版權所有:

成都鑫南光機械設備有限公司

備案號: 蜀ICP備12015633號-3

網站地圖 RSS XML  四川|成都|德陽|綿陽|
聯系人:劉經理 電話:028-85730589      技術支持:動力無限 萬家燈火
  全國服務熱線:13908187709  郵箱:[email protected]
成都鑫南光機械設備有限公司主要從事四川光刻機 四川氫氣爐 四川真空泵 的產品,歡迎前來咨詢!
在線咨詢
在線留言
客服電話
掃一掃
成都鑫南光機械設備有限公司

掃一掃
進入手機網站

全國服務熱線
13908187709

返回頂部
上海快三走势图形态走势定牛 知乎上发文章能赚钱吗 点赞赚钱是真的假的 黑龙江36选7 中国伊朗足球直播 2017淘宝还能赚钱吗 中信in白金信用卡怎么赚钱 棒球比分直播雪缘园 球探比分即时比分 广州恒大新浪体育 开店卖羊肉片赚钱吗 mlb棒球比分直播 二手海王捕鱼主机 山西龙城麻将游戏 微信捕鱼游戏大全 微信平台赚钱 被骗 四川时时彩