歡迎訪問成都鑫南光機械設備有限公司官方網站!

成都鑫南光機械設備有限公司

二十年專業品質 通過ISO9001質量體系認證

立即咨詢

24小時咨詢熱線:
13908187709
查看大圖 加入收藏夾 我要評價 告訴朋友
G-43B8型高精密單面光刻機

簡介—— 一、概述:G—43B8型光刻機是根據市場需求研發的產品,其最大的特點是曝光面積極大,通常情況下為Φ8",對被光刻基片的外

聯系電話:1390818770913908187709

詳情內容/ Content details

手機掃一掃


一、概述:

G—43B8型光刻機是根據市場需求研發的產品,其最大的特點是曝光面積極大,通常情況下為Φ8",對被光刻基片的外形、厚度要求較低,可對多種材料的基片進行光刻,它特別適用一次光刻的產品,可制作聲表面器件、可控硅、小液晶顯示器、傳感器、二極管、園光柵、編碼盤等,按用戶要求可提供圓形承片臺或方形承片臺,不管哪一種承片臺,如果基片厚度≤1mm,我公司為本機配置標準承片臺(不另計費),當基片厚度>1mm時,設備需配置專用承片臺(訂貨時用戶須說明,費用另議)。承片臺都能實現“真空密著”曝光,加之光均勻性好(Φ200mm范圍內≤±6%),所以大大提高光刻質量。

根據用戶要求,可在G-43B8型光刻機外加裝對準設置,以進行版對片的精密對準曝光。

二、主要技術參數:

1. 曝光面積Φ8"。

實現“真空密著”曝光,(通過調整真空度能實現硬接觸、軟接觸或微力接觸曝光),基片厚度≤5 mm;當您的基片厚度≤1mm時,我公司為本機配置標準承片臺(不另計費),當基片厚度>1mm時,設備需配置專用承片臺(訂貨時用戶須說明,費用另議)。

2. 曝光最小分辨率為3μm。

3. 可以為用戶制作具有預定位機構的專用承片臺,片對版的預定位精度≤±0.1mm。

4. 曝光頭用燈為GCQ350W型超高壓直流球形汞燈,光強≤3.5mw/cm2,光的不均勻性在Φ200mm范圍內≤±6%。

三、結構簡介:

G—43B8型光刻機主要由以下部份組成:

1、多點光源曝光頭:

曝光燈采用GCQ350W型超高壓直流球形汞燈,這種汞燈的優點是近紫外線3650 ?,4047?,4385 ?相當豐富,用365測頭測量,顯示光強可達3.5mw/cm2以下,非常有利于光刻,光的均勻性很好,不均勻性測量在Φ200mm范圍內≤±6%,冷卻方式為風冷(內裝排風扇)。

在該機底座上裝有進口的歐姆龍時間繼電器,0~999.9秒內控制曝光快門。

汞燈X、Y、Z調中裝置設在曝光頭上面,以便用戶進行光強度和光均勻性調節。

汞燈隨使用時間增長而逐漸老化,照度逐漸降低,用戶可改變承片臺高度,而保持恒光強,也可改變汞燈電流大小保持恒光強。

2、電器控制系統:

1) 打開電源開關(面板上標“電源”開關),此時汞燈自然打開,指示汞燈亮,接上真空源,快門被關上,待汞燈亮度正常后(一般需要15分鐘以上),可以進行如下操作。

2) 放基片到任一承片臺上(注意放基片的位置和方向),按與該承片臺相應的按鈕進行“真空吸片”,然后放掩膜版到基片上(當然也要注意版放的位置和方向),按相應的真空“密著”按鈕,調整密著真空大小,使版、片在大氣壓作用下緊密貼合好,然后將承片臺放到可以升降的臺上,調整好你所需的曝光時間,按“曝光”按鈕進行曝光。





【返回列表】

【推薦閱讀】↓

【本文標簽】:

在線留言

message
掃一掃更精彩掃一掃更精彩
  • 聯系人:劉經理
  • 聯系電話:13908187709
  • 座機:028-85730589
  • 400電話:13908187709
  • 郵箱:[email protected]
  • 地址:成都市蛟龍工業港雙流園區渤海路36號(3座)
在線客服

如果您對此產品感興趣! 請直接聯系成都鑫南光機械設備有限公司!

相關推薦

HOT RECOMMEND

快速通道 Express Lane

咨詢熱線

1390818770913908187709

郵箱:[email protected]

QQ:15390063681

鑫南光咨詢服務熱線:
13908187709

立即在線咨詢預約

掃一掃有驚喜哦

二維碼
地址:成都市蛟龍工業港雙流園區渤海路36號(3座)
版權所有:

成都鑫南光機械設備有限公司

備案號: 蜀ICP備12015633號-3

網站地圖 RSS XML  四川|成都|德陽|綿陽|
聯系人:劉經理 電話:028-85730589      技術支持:動力無限 萬家燈火
  全國服務熱線:13908187709  郵箱:[email protected]
成都鑫南光機械設備有限公司主要從事四川光刻機 四川氫氣爐 四川真空泵 的產品,歡迎前來咨詢!
在線咨詢
在線留言
客服電話
掃一掃
成都鑫南光機械設備有限公司

掃一掃
進入手機網站

全國服務熱線
13908187709

返回頂部
上海快三走势图形态走势定牛 点点盈配资 智操盘 什么是股票 私募基金配资是什么意思 中国制造业股票有哪些 国电电力股票行情 长牛策略 互联网理财平台排名 期货配资公司是否合法 亚金配资 当前上证指数 盈策配资 北京期货配资 股票融资平台·杨方配资平台 云智在线配资 怎么炒股详细步骤