歡迎訪問成都鑫南光機械設備有限公司官方網站!

成都鑫南光機械設備有限公司

二十年專業品質 通過ISO9001質量體系認證

立即咨詢

24小時咨詢熱線:
13908187709
查看大圖 加入收藏夾 我要評價 告訴朋友
G-43B型高精密單面光刻機

簡介—— 一、概述:G—43B型光刻機是根據市場需求研發的產品,其最大的特點是曝光面積極大,通常情況下為Φ8",對被光刻基片的外形

聯系電話:1390818770913908187709

詳情內容/ Content details

手機掃一掃


一、概述:

G—43B型光刻機是根據市場需求研發的產品,其最大的特點是曝光面積極大,通常情況下為Φ8",對被光刻基片的外形、厚度要求較低,可對多種材料的基片進行光刻,它特別適用一次光刻的產品,可制作聲表面器件、可控硅、小液晶顯示器、傳感器、二極管、園光柵、編碼盤等,按用戶要求可提供圓形承片臺或方形承片臺,不管哪一種承片臺,如果基片厚度≤1mm,我公司為本機配置標準承片臺(不另計費),當基片厚度>1mm時,設備需配置專用承片臺(訂貨時用戶須說明,費用另議)。

二、主要技術指標:

1. 適用于直徑是7英寸(含7英寸)以下,只需要一次曝光的各種基片進行曝光,基片厚度要求:0~5mm。

2. 曝光面積Φ8"。

3. 實現“真空密著”曝光,(通過調整真空度能實現硬接觸、軟接觸或微力接觸曝光),基片厚度:0~5mm。

4. 曝光最小分辨率為5μm。

5. 可以為用戶制作具有預定位機構的專用承片臺,片對版的預定位精度≤±0.1mm。

6. 乙方提供基片夾具: 6"、7"。

7. 曝光頭用燈為GCQ350W型超高壓直流球形汞燈,光強≤3.5mw/cm2,光的不均勻性在Φ180mm范圍內≤±6.5%。

可以通過調節承片臺相對于曝光頭距離來實現恒光強曝光。也可以通過調節直流汞燈電流大小來改變光強。

三、設備結構:

G—43B型光刻機主要由以下部份組成:

1、多點光源曝光頭:

曝光燈采用GCQ350W型超高壓直流球形汞燈,這種汞燈的優點是近紫外線3650 ?,4047?,4385 ?相當豐富,用365測頭測量,顯示光強可達3.5mw/cm2以下,非常有利于光刻,光的均勻性很好,不均勻性測量在Φ180mm范圍內≤±6.5%,冷卻方式為風冷(內裝排風扇)。

在該機底座上裝有進口的歐姆龍時間繼電器,0~999.9秒內控制曝光快門。

汞燈X、Y、Z調中裝置設在曝光頭上面,以便用戶進行光強度和光均勻性調節。

汞燈隨使用時間增長而逐漸老化,照度逐漸降低,用戶可改變承片臺高度,而保持恒光強,也可改變汞燈電流大小保持恒光強。

2、電器控制系統:

1) 打開電源開關(面板上標“電源”開關)。此時汞燈自然打開,指示汞燈亮。接上真空源,快門被關上。待汞燈亮度正常后(一般需要15分鐘以上),可以進行如下操作。

2) 放基片到任一承片臺上(注意放基片的位置和方向),按與該承片臺相應的按鈕進行“真空吸片”,然后放掩膜版到基片上(當然也要注意版放的位置和方向),按相應的真空“密著”按鈕。調整密著真空大小。使版、片在大氣壓作用下緊密貼合好。然后將承片臺放到可以升降的臺上。調整好你所需的曝光時間,按“曝光”按鈕進行曝光。



【返回列表】

【推薦閱讀】↓

【本文標簽】:

在線留言

message
掃一掃更精彩掃一掃更精彩
  • 聯系人:劉經理
  • 聯系電話:13908187709
  • 座機:028-85730589
  • 400電話:13908187709
  • 郵箱:[email protected]
  • 地址:成都市蛟龍工業港雙流園區渤海路36號(3座)
在線客服

如果您對此產品感興趣! 請直接聯系成都鑫南光機械設備有限公司!

相關推薦

HOT RECOMMEND

快速通道 Express Lane

咨詢熱線

1390818770913908187709

郵箱:[email protected]

QQ:15390063681

鑫南光咨詢服務熱線:
13908187709

立即在線咨詢預約

掃一掃有驚喜哦

二維碼
地址:成都市蛟龍工業港雙流園區渤海路36號(3座)
版權所有:

成都鑫南光機械設備有限公司

備案號: 蜀ICP備12015633號-3

網站地圖 RSS XML  四川|成都|德陽|綿陽|
聯系人:劉經理 電話:028-85730589      技術支持:動力無限 萬家燈火
  全國服務熱線:13908187709  郵箱:[email protected]
成都鑫南光機械設備有限公司主要從事四川光刻機 四川氫氣爐 四川真空泵 的產品,歡迎前來咨詢!
在線咨詢
在線留言
客服電話
掃一掃
成都鑫南光機械設備有限公司

掃一掃
進入手機網站

全國服務熱線
13908187709

返回頂部
上海快三走势图形态走势定牛