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G-43D6型高精密單面光刻機

簡介—— 一 、設備概述:G—43D6型光刻機是根據市場需求研發的產品,可以做Φ6"以下基片,對被光刻基片的外形、厚度要求較低,可

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一 、設備概述:

G—43D6型光刻機是根據市場需求研發的產品,可以做Φ6"以下基片,對被光刻基片的外形、厚度要求較低,可對多種材料的基片進行光刻。它特別適用進行一次光刻的產品,可制作聲表面器件、可控硅、小液晶顯示器、傳感器、二極管、園光柵、編碼盤等。按用戶要求可提供圓形承片臺或方形承片臺,不管哪一種承片臺,如果基片厚度≤2mm,承片臺都能實現“真空密著”曝光,加之光均勻性好,所以大大提高光刻質量。


二、主要技術參數:

1. 操作方式:手動。

2. 曝光模式:接觸式曝光。

3. 曝光面積:Φ6"。

4. 紫外光源:365nm。

5. 實現“真空密著”曝光,但基片厚度≤2mm。

6. 分辨率:2um

7、光的不均勻性:≤±3.5%;

8. 樣品尺寸:Φ150mm。



三、結構簡介:

G—43D6型光刻機主要由以下部份組成:

1、采用6寸LED曝光頭:

(1)曝光原理:

UV-LED紫外燈發出大量紫外線光,經專用光學系統,形成均勻照明。

(2)照度不均勻性的測量及計算:

不均勻性用紫外檢測計測量(UV-A型紫外輻照計)

E最大 - E最小

U = ±────────×100%

E最大 + E最小

測量5點或9點(如右圖)

(3)曝光時間的控制

本機設有進口時間繼電器,可進行0.1~999.9秒曝光時間的預選。

2、電器控制系統:

打開電源開關(面板上標“電源”開關),燈亮,氣壓表顯示數值。

1) 此時檢查左表板上的“系統真空”表,看是否保持真空度≥-0.07MPa以上,否則要檢查漏氣原因并消除之。

2) 打開UV-LED紫外燈(UV-LED紫外燈的操作見UV-LED紫外燈平行光光源使用說明書)。

3) 轉動曝光頭,使曝光頭平行于操作者,打開板架壓緊,翻起板架。

4) 按下“吸片”按鈕,“吸片”指示熄滅,放基片到相應承片臺上(注意放基片的位置和方向),定好位后,再按“吸片”按鈕,“吸片”指示燈亮,吸片完成。

5) 按下“吸板”按鈕,“吸板”指示熄滅,放掩膜版到相應板架上(注意放掩膜版的位置和方向),定好位后,再按“吸板”按鈕,“吸板”指示燈亮,吸板完成。

6) 翻下板架,轉動板架壓緊塊,鎖緊板架

7) 撥動旋鈕,指向“片升”,基片上升,調節氣缸上的定位螺釘,可以控制基片和掩膜版之間的間隙。

8) 按下“密著”按鈕,“密著”指示燈亮,調整密著真空大小,使版、片在大氣壓作用下緊密貼合好。

9) 轉動曝光頭,使曝光頭正對操作者,也就是使曝光頭在板架正上方。

10) 調整好你所需的曝光時間,按下“曝光”按鈕,“曝光”指示燈亮,進行曝光。

11) “曝光”指示熄滅,曝光結束。

12) 撥動旋鈕,指向“片降”,基片下降。

13) 轉動曝光頭,使曝光頭平行于操作者,打開板架壓緊,翻起板架。

14) 按下“吸片”按鈕,“吸片”指示熄滅,取下基片,曝光完成。




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